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適用于晶圓磨削的磨削氣浮主軸

分類：

氣浮軸承

關(guān)鍵詞：

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產(chǎn)品詳情

最高轉(zhuǎn)速7000rpm。

徑向跳動小于2μm，軸向跳動小于2μm。

極小的形位公差與氣膜厚度帶來超高的剛度，徑向剛度200N/μm，軸向剛度400N/μm。

采用高性能空氣靜壓軸承支撐，具有極高的動態(tài)回轉(zhuǎn)精度。

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